檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "化學工程系".dept (精準) and ckeyword.raw="濕式蝕刻"
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本論文主要探討如何藉由擴散阻隔層的加入適時阻擋低溫下鋁擴散進入非晶矽/單晶矽異質接合界面,以求得p型背電場形成之同時亦保有高異質接合鈍化效果之目的。我們選用兩種擴散阻隔層:第一種是以5奈米厚的氧化銦…
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本研究主旨係探討以金屬輔助化學蝕刻(Metal-assisted Chemical Etching),結合複合式線鋸(Multi-wire Sawing)切割矽晶圓之可行性。首先以無電鍍法,在不鏽鋼…